中国粉体网讯 碳化硅单晶的加工过程主要分为切片、薄化和研磨、抛光。作为碳化硅单晶加工过程的第一道工序,切片的性能决定了后续薄化、抛光的加工水平。切片加工易在晶片表面和亚表面产生裂纹,增加晶片的破片率和制造成本,因此控制晶片表[更多]
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