中国粉体网讯 碳化硅制备工艺对于生产高质量碳化硅晶圆有着直接影响，目前碳化硅晶圆被应用到了各个高新领域之中，是制作高新产品的重要材料之一。碳化硅是一种由碳元素和硅元素构成的化合物，有单晶和多晶两种形态。其中多晶碳化硅硬度更高[更多]
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