碳化硅装备

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中国粉体网讯 碳化硅制造装备是碳化硅技术和产业发展的基础，碳化硅单晶生长炉的技术水平、工艺能力及自主保障是碳化硅材料向大尺寸、高良率方向发展的关键，也是牵引第三代半导体产业向低成本、规模化发展的主要因素。目前国内主要的碳化硅[更多]