碳化硅外延片

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中国粉体网讯 在整个碳化硅产业链中，外延片起到承上启下的作用，至关重要。就目前来看，现有的器件基本都是在外延层上实现的，所以对外延层质量的要求相当的高，其质量直接影响器件的性能。碳化硅产业链数据显示，衬底成本大约占晶片加工总[更多]