中国粉体网讯 外延工艺是整个碳化硅产业中非常关键的一环,所有的器件基本上都是在外延上实现,所以外延的质量对器件的性能是影响非常大,同时外延的质量又受到晶体和衬底加工的影响,所以外延环节在碳化硅产业链中起到承上启下的关键作用。[更多]
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