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Vortex 2000品牌
苏大维格产地
江苏样本
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Vortex 2000
国产半导体行业专用仪器
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应用场景
针对4、6、8、12寸晶圆、光罩Mask关键尺寸及套刻精度测量。
可同时兼容**12寸晶圆及Mask的CD量测
支持UV、白光照明及光学系统
支持透射光（用于Mask）、反射光量测
光学系统基于Recipe的自动测量
支持灰度阈值、灰度变化率、直线拟合等多种线宽测量方法
多持非线性补偿功能
支持低对比度下的线宽测量
支持通过GDS文件进行快速定位的测量
提供摇杆、专用控制键盘进行平台定位以及常用功能的快捷操作
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