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IRIS-530双表面颗粒检测设备品牌
苏大维格产地
江苏样本
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IRIS-530双表面颗粒检测设备
国产测量/计量仪器
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IRIS-530是维普推出的针对IC Mask双表面颗粒检测设备，系统采用上下两组光学系统与明场、暗场照明模式。可同时检测Pellicle及Glass面的颗粒及脏污检测，适用于Mask shop出货检测、FAB厂日常监控。
为Mask shop出货检测、FAB Reticle定期监控提供高效、低成本的检测方案。
同时检测玻璃面、pellicle面颗粒
可兼容RSP200、Nikon Case、水晶盒的开盒与自动上下板
基于明场+暗场的检测方式
pellicle面、glass面、膜框内外部检测区域可灵活设置
缺陷位置与图形位置关系可视化展示
配置气浴风刀，可对表面颗粒进行清除
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