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STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备品牌
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为Mask shop及晶圆制造提供高效的Reticle检测方案
基于深紫外DUV激光的超高分辨率光学系统
支持反射光、透射光同时检测
支持DD、SL、DB检测模式
支持RSP 150/200片盒
支持GDS、OASIS、MEBES文件格式
支持OPC图形检测
支持GPU分布式计算
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