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iGrapher 大型紫外直写光刻系统品牌
苏大维格产地
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iGrapher 大型紫外直写光刻系统
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采用DPSSL 355nm光源
支持8-130英寸幅面
超高精密系统
高精度环控系统
主动式隔振系统
高精度气浮运动平台
高速图形化
频闪平铺光斑曝光
3D导航自动聚焦
* 具体指标因工艺差异有所不同
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