马尔文帕纳科半导体行业专用仪器
马尔文帕纳科Omega-Theta
国产半导体行业专用仪器
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Omega/Theta XRD 用于超快速晶体定向和摇摆曲线测量
10秒内完成晶体取向测定
Omega/Theta XRD为测定晶面取向提供了良好的综合精度和速度。Omega/Theta XRD可在短短 10 秒内返回结果，具有从条形码阅读器到晶体堆叠支架的许多工艺附件，可容纳重量达30kg、长度达 450mm 的一系列样品。它是将测量好的取向转移到加工工具的可靠合作伙伴。
精度：在偏角幅度和面内方向上达到＜0.003°/＜0.03°的精度（1σ）
10秒内完成晶体取向测定
以3D形式自动评估完整晶格取向
用于研究和生产质量的控制
晶体取向的方位设置和标记
提供多种附件用于将取向转移到其他工艺步骤
通过测角仪实现未知样品的的扫描和定向
可使用摇摆曲线测量进行晶体质量评估
用户友好、性价比高
样品处理方便，操作简单
用户友好的高级软件
能耗和运行成本低
模块化设计和灵活性
通过各种升级选项满足未来需求
根据客户要求为特殊应用定制的解决方案
平边和 V 槽的光学测量
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