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FlexAligner-R500品牌
苏大维格产地
江苏样本
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FlexAligner-R500
国产半导体行业专用仪器
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技术特点
压印模式：辊对辊压印，UV压印固化（ 365nm紫外光LED ）
运行模式：柔性卷材连续运行，单面/双面套准/多层套准, 速度1~30米/分钟
对位精度：双面套准精度 20~100um
压印结构：50nm-50um
压印面积：宽幅500mm（FlexAligner-R500）;宽幅1400mm（FlexAligner-R1400）
子模类型：金属模具
上胶模式：点胶模式/网纹上胶
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