光谱反射仪（SR）系列是一款相对较低成本和操作简单的工具。

SR 系列特征：

• 简单易操作

• **系统性能基于先进的光学设计

• 基于阵列的探测器系统保证快速测量

• 测量薄膜厚度和折射率可达5层

• 允许在毫秒内获得反射、透射和吸收光谱

• 可用于实时或在线厚度，折射率的监测

• 系统具有全面的光学常数数据库

• 先进的TFprobe软件允许用户使用NK表、分散或有效介质近似（EMA）每个单独的膜。

• 可升级到MSP（显微分光光度计）系统，SRM映射系统，多通道系统，大点的·直接测量图案或功能结构

• 适用于多种不同厚度的基材

• 各种附件可用于特殊配置，如运行曲线测量曲面

• 2D和3D输出图形和用户友好的数据管理接口

光谱反射仪型号：