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STORM 2000SLH缺陷检测设备品牌
苏大维格产地
江苏样本
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STORM 2000SLH缺陷检测设备
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STORM 2000SLH是维普针对于大尺寸Mask开发的缺陷检测设备,适用于LCD、TFT、CF、Touch Panel等大尺寸Mask光刻后的图形缺陷检测。采用先进的光学成像与软件系统,可支持DB、DD、SL等检测模式,针对大尺寸Mask shop客户,具备高精度、高效率、易使用等重大优势。
为G8.5及以下尺寸的Mask,提供高效的表面缺陷检测方案,满足0.5um的缺陷检测能力。
关键特性
**支持8.5代面板尺寸
支持Loader自动上下片,支持与AGV对接
自适应支持多种规格的基板尺寸
支持DD、DB、SL检测模式
支持双光学头扫描,极大提高检测效率
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