晶圆尺寸:6/8英寸

Nafer size: 6/8 inches　ウェハーサイズ:６インチ～８インチ

温度范围:温度200-800℃，温度均匀性±3℃

Temperature 200-800 °Ｃ, temperature uniformity±3 °Ｃ

温度範囲：温度200-８００°Ｃ、許容温度範囲±2℃

压力:**20000N，力均匀性＜±1%

Pressure Maximum 20,000 N,Force Uniformity<±1%

圧力：**２0000Ｎ、力の均等性＜±1%

真空度:≤10Pa

Vacuum pressure:≤10Pa  真空度:≤10Pa

压头:柔性压头/硬性压头

Indenter: Flexible indenter/rigid indenter

圧子：軟性圧子/硬性圧子