参考价格
面议型号
SiC高温氧化炉品牌
山东力冠产地
山东样本
暂无额定温度：
-非金属电热元件：
其他金属电热元件：
其他烧结气氛：
其他温控精度：
-最高温度：
-粉体焙烧炉
SiC高温氧化炉
国产粉体焙烧炉
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专用于SiC晶圆的高温氧化工艺，可实现晶圆片高温真空环境下完成氧化工艺。
可使用O2,N2O，NO，NO2或湿法氧化，采用无金属加热和真空装备。
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