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氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 立式
氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 立式

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氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 立式

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山东力冠

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山东

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半导体行业专用仪器

氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 立式

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产品特点/Product Characteristics:

♦ 基础工艺包

Basic process package

1.氮化镓(GaN)单晶生长尺寸: 2英寸

Gallium nitride (GaN) single crystal growth size: 2 inches

2.单晶生长速率:≥50微米/小时

Single crystal growth rate:≥50 microns/hour

3.蓝宝石衬底外延生长氮化镓(GaN)单晶层厚度: < 200微米


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