在线面扫和单点检测

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。

样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。

电池生产线上的来料质量检查是*常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。

还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源。

特性

允许单片调查

配方的基础测量

监控材料质量、工艺的完整性和稳定性

优势在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。

用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆，包括材料制备，和各种工艺处理阶段。

小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。