产品简介

    NMC508M 8英寸铝金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，主要用于200mm硅片的金属铝和钨的刻蚀工艺。NMC508M为多腔室集群设备（Cluster Tool），是一个全自动的、能够进行串行或并行工艺处理的刻蚀系统。该系统主要由传输模块（Transfer Module）、金属刻蚀工艺模块（Metal Etch Process Module）、去胶模块（Strip Process Module）、冷却模块（Cooling station）、电源柜（Remote AC Power Rack）和控制柜（Control Rack）等组成，其中金属刻蚀工艺模块用于进行金属刻蚀工艺，去胶模块用于去除金属刻蚀后的残余光刻胶和残...