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超声分离清洗设备
超声分离清洗设备

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型号

CSFLQX

品牌

产地

武汉

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暂无
硅来半导体(武汉)有限公司

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半导体行业专用仪器

CSFLQX

国产半导体行业专用仪器

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功能特点

分离清洗设备利用高频超声振动,使材料快速完整脱离,大幅缩短剥片时间,能精确调控参数,低损伤处理,剥离时自清洁可减少工序,具备尺寸兼容性,大小尺寸的材料均可高效处理。


应用场景

主要用于半导体晶片切割后的分离清洗环节,可在半导体制造、光电器件生产等场景,实现表面清洁与分离。


产品参数


项目

要求

操作模式

自动/半自动模式

分离范围

6-inch/8-inch

操作盘

超声波振动盘

视觉单元

剥离结果判定

晶锭厚度测量

清洗甩干单元

晶片清洗及甩干

设备尺寸(W*D*H)

1400mm×1900mm×2000mm

设备质量

约1000KG


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