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气相沉积设备ATS500品牌
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气相沉积设备ATS500
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ATS 500设计用于OLED、有机电子应用、光伏、半导体器件、透镜和光学滤波器的研发和小批量生产。
系统特色是配有全彩触摸屏的PLC，集成了工艺菜单控制和数据记录功能，可以选配全电脑控制。
ATS 500提供广泛的工艺选项，包括：
热阻蒸发源。
温度控制蒸发源，用于OLED和有机光伏应用。
电子束蒸发源，用于高速率蒸发。
离子束辅助，用于光学应用或者基板清洗。
DC、RF和脉冲DC源，用于金属和电解质向上或者向下的溅射工艺。
以上两个或者多个功能的混合系统
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