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FC-3800和FC-4400是适用于洁净室的、真空锁结构的系统，专门面向lift-off工艺的大生产应用。这些镀膜机为连续高效的运行而设计，并提供高均匀性的薄膜沉积。FC-3800的源基间距为34”（965mm），而FC-4400的源基间距为42”（1067mm）。这两款系统都可配置成独立机台或穿墙式洁净室安装，也都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。
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