腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

ф90x40mm

腔体上视窗尺寸

中42mm（选配凹视窗中22mm）

腔体抽气口

Kf16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa（5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

28X28mm

样品台-视窗 距离

30mm（（可选凹视窗间距15mm）

样品台测温传感器

Pt100铂电阻

样品台温度

-190°C至400°C（可选高温样品台高温400°C）

样品台测温误差

土0.5°C

样品台变温速率

高温20°C/min

低温20°C/min **值

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控＋自整定（可选30段编程控温）

温度分辨率

0.1°C

温控精度

士0.5°C

温度信号输入类型

Pt100热电阻（可选K SB型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

电学性能

绝缘电阻 ≥4000M？ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针（可定做6探针）

探针材质

镀金钨针

探针尖

10um/50um

X轴移动行程

12mm

‡6mm

X轴控制精度

≤5um

Y轴移动行程

12mm

士6mm

Y轴控制精度

<5um

Z轴移动行程

12mm

士6mm

Z轴控制精度

<5um

标配

1台KT-0904T-RL微型探针台一台、1台触摸屏温控箱、1根电源线、1根触摸屏笔

1根功率输出线、1套K型上盖扳手、备用螺丝，内六角

选配

分子泵机组机械泵 CCD相机真空计源表气浮台