腔体上视窗尺寸

中42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体下视窗尺寸

中22mm（用于光学底部透光）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm快拧或6mm快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa（5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台材质

不锈钢

样品台尺寸

28x28mm

样品台加热方式

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

10mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400°C 室温到-190°C

样品台测温误差

士0.5°C

样品台升温速率

高温10°C/min **值 低温20°C/min

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控＋自整定+加热功率输出显示＋电压电流显示

温度分辨率

0.1°C

温控精度

士0.5°C

温度信号输入类型

PT 100（可选K S B型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器