参考价格
1-5万元型号
/KT-Z1650CVD品牌
郑州科探仪器设备有限公司产地
郑州样本
暂无半导体行业专用仪器
/KT-Z1650CVD
国产半导体行业专用仪器
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KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全。配备7寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈，样品台旋转，样品高度调节，及自动电动 样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金 属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔 室透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
技术参数
控制方式 | 7寸人机界面手动 自动模式切换控制//晶控模式（需配膜厚仪） |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
**功率 | ≤1200W |
输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 透明玻璃腔体中160mm ×170mm |
样品台 | 可旋转中75（可安装中60基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-70mm |
蒸发温度调节 | ≤1800°C |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚 |
预留真空接口 | Kf25抽气口 KF16真空计接口 放气口 |
真空测量 | 电阻真空计（已安装测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
可选配扩展 | 1：机械真空泵抽速8mYh（≤5Pa（5分钟） 2：分子泵机组（可抽真空20分钟≤5*10^-3Pa） 3：膜厚仪：（厚度范围0-9999A，厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A，速率显示分辨率 0.1A，晶振频率5-6MHz） |
标配 | 1台小型蒸镀仪KT-Z1650CVD主机，电源线、合格证、说明书、保修卡各一个 |
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