腔体材质

304不锈钢

腔体上视窗尺寸

中70mm

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体真空测量口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷

腔体水冷接口

6mm快拧

腔体正压

≤0.1MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa（5分钟）分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

高温绝缘陶瓷

样品台尺寸

55×55mm

样品台加热方式

碳化硅

样品台-视窗 距离

23mm

样品台测温传感器

PT100 S型热电偶

样品台温度

室温到1000°C

样品台升温速率

20°C/min **值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控＋自整定30段编程控温

温度分辨率

0.1°C

温度信号输入类型

S（可选PT100热电阻 KB型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

水冷机

冷却方式

压缩制冷

冷却水流量

19L/min

温控精度

10.3°C

循环水箱容量

6L

水冷机尺寸

59cmX28.5cmХ46cm

水冷机重量

约26.6KG

整机额定功率

0.76KW

60Hz