参考价格
10-20万元型号
KT-Z1604T-R 室温~400°C KT-Z1604T-RL-190~400°C品牌
产地
郑州样本
暂无工业在线及过程控制仪器
KT-Z1604T-R 室温~400°C KT-Z1604T-RL-190~400°C
国产工业在线及过程控制仪器
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KT-Z1604T-RL该探针台的承载台为55*55mm不锈钢台面，台面**可升温到**400°C。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：
0-30mm；y方向调节范围：0-20mm；z方向调节范围：0-20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
技术参数 | |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
内腔体尺寸 | $160x90mm |
观察窗尺寸 | Ф70mm |
加热台尺寸 | $55×55mm |
观察窗热台间距 | 75mm |
加热台温度 | -190°C-400°C |
加热台温控误差 | 士1°C |
样品台变温速率 | 高温20°C/min 低温20°C/min **值 |
温度显示 | 7寸人机界面 |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允许正压 | ≤0.1MPa |
真空抽气口 | Kf25真空法兰 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000M2 介质耐压 ≤500V 漏电流 ≤-10次方安培 |
探针数量 | 4探针（可选购5探针） |
探针材质 | 镀金钨针 |
探针尖 | 10um/50um |
X轴移动行程 | 30mm +15mm |
X轴控制精度 | ≤0.01mm |
Y轴移动行程 | 13mm 土12.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
Z轴移动行程 | 13mm ‡12.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
标配 | 1台真空探针台KT-Z1604T-RL、1台触摸屏温控箱、1根电源线、 1根触摸屏笔、1根功率输出线、1套K型上盖扳手、备用螺丝，内六角、 |
选配 | 分子泵机组 机械泵 CCD相机 真空计 气浮台源表 |
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