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匀胶机(旋涂仪) SC-8品牌
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匀胶机(旋涂仪) SC-8
国产半导体行业专用仪器
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产品参数 | |
可处理基片尺寸 | ≤200mm |
转速范围 | 20-10000rpm |
转速分辨率 | 1rpm |
加速度可调范围 | 20-50000rpm/s |
单步时长 | ≤3000s |
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