产品特点

● 适用于6、8、12吋晶圆的匀胶显影工艺；

● 产品主机由上料块（CSB）、工艺块（PRB）两块组成；

● 可满足正胶、负胶等工艺要求；

● 设备支持SEMI GEM标准；

● 采用多种安全保障措施和安全装置；

● 采用电脑自动控制系统,工艺菜单可根据需求进行修改并可保存多个菜单，工艺全过程直观、全面显示，互动性强；

● 系统控制全面、抗干扰性强、可靠性高、维修方便，具有故障提示和安全报警功能；

● 设备运行稳定、可靠、集成度高，结构合理紧凑，操作方便；

● 设备具有视频监控功能以及完善的日志功能；

● 可根据客户工艺制程特殊需求进行定制化服务。