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设备参数
项目 | 技术参数 |
设备型号 | G6001 |
激光器 | 50uj@1030nm，300fs，5W，0-1000KHz |
平台精度 | 重复精度±0.5um，定位精度±1um@20℃±1℃ |
平台运行速度 | 运行速度100mm/s，**速度1000mm/s |
平台运行加速度 | 运行加速度1.8G，**加速度2.5G |
修复范围 | 300*300mm |
电动狭缝 | 0-2.5mm，步距0.1um，±45度可调±1度 |
WDI | 相应时间*快50us |
相机 | 2000W像素，≤1微米 |
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