
马尔文帕纳科半导体行业专用仪器
马尔文帕纳科Wafer
国产半导体行业专用仪器
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Wafer XRD用于全自动晶圆拣选、生产和质量控制
特点
适用于3到8寸晶圆。也可根据要求提供其他尺寸
FOUP、载具或单个晶圆台
跨槽晶圆识别为可选功能
易于集成到任何工艺生产线中
测量速度:每个样品<10秒
典型标准偏差(倾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
铜靶微焦点风冷X射线光管(**30W)或细焦点水冷X射线光管(**1.5kW)
完全符合CE标准的安全控制装置
通过3色灯塔指示状
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、蓝宝石(Al₂O₃)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可选插件
电阻率测量范围:0.01至0.020Ωcm
自动识别晶圆数据矩阵码、二维码、条形码或类似代码
未抛光晶圆和镜面的距离测量

年产1,000,000片晶圆
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随着动力电池和新能源汽车的需求爆发,锂电正极材料也正在快速迭代,其中三元材料逐渐成为动力电池的主流选择。目前三元材料中的镍钴锰成分分析多采用ICP分析方法,化学分析过程相对复杂、分析时间长、梯度稀释误
2021-08-06
XRF在锂电正极材料元素分析中的应用
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马尔文帕纳科综合样本手册
昨日,在位于上海闵行区的马尔文帕纳科亚太卓越应用中心热闹非凡,直播间里马尔文帕纳科携手仪器信息网共同发布具备突破性技术的高通量蛋白稳定性分析仪——Zetasizer Core。这款重量级设备上市,标志
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Wafer XRD的工作原理介绍?
Wafer XRD的使用方法?
Wafer XRD多少钱一台?
Wafer XRD的说明书有吗?
Wafer XRD的报价含票含运费吗?
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