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狭缝涂布设备
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应用领域
应用领域 : 全面覆盖 TGV（玻璃通孔）、2.5D/3D IC、FOPLP（面板级扇出封装）、Chiplet 等先进封装技术节点。
设备特点
本系统是一套集成了高精度狭缝涂布机、加热真空干燥（HVCD）炉及精准预固化炉的自动化生产线。通过自动化传输系统与智能集成管理软件无缝联动，实现了从基板上料、涂布、干燥到固化的全流程一体化作业。从而实现 (1+1+1 > 3)的效果
设备参数
1 | 产品尺寸 | 510mm*515mm 730mm*920mm |
2 | 基板厚度 | 0.3~2mm |
3 | 干膜厚度 | 0.2-25um |
4 | 涂布速度 | 100mm/s |
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