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多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统(CVD)是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术,主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离,促进化学反应在较低的温度下进行,从而在基片上沉积出所期望的薄膜。
目前项目团队自主研发的CVD设备可在多种衬底上(如金属、氧化物、半导体表面)直接生长以石墨烯为代表的各类新型二维材料,用于新材料、新器件的研发。工艺简单廉价,且具有传统半导体生长工艺的兼容性。











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液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)是当前社会中应用非常多的显示器,在日常生活中随处可见。LCD主要由彩色滤光片基板(Color filter,CF)、TFT阵列(TF
2025-07-02
柔性光伏太阳能电池具有轻薄、防震、自供电等特征,有集成到建筑物或可穿戴电子设备中的巨大潜力。如果大家留意就会发现,晶硅太阳能电池是当今社会中应用最为广泛的太阳能电池,在日常生活中随处可见,尽管科学家
2025-07-03
利用PicoFemto®原位样品杆发表的研究成果持续更新中,未来小编还将不断更新产品应用案例。错过之前报道的老师们也可以在公众号首页点击"往期文章"阅读。也欢迎大家关注公众号,这里
2025-07-03
冰是水在自然界中的固体形态,在大自然中也广泛存在,冰的结构及形成机理研究对云物理及低温储存物理至关重要,因此科学家们对冰的研究也历史久远。提到冰在较小尺度的存在形态,我们最容易想到的是雪花。如下图所示
2025-07-03
室内低浓度挥发性有机化合物(VOCs)的长期暴露会对人体健康造成显著威胁,吸附技术因安全高效且易于集成到紧凑型净化装置中,被广泛视为改善室内空气质量的关键途径。以活性炭为代表的多孔吸附剂因具备优异的微
二维层状范德华材料因其优异且可调的电学性能,在下一代半导体及柔性电子器件中展现出极大的应用潜力。然而该类材料在力学性能上普遍面临严重瓶颈,层内强的共价键或离子键以及层间微弱的范德华相互作用导致其力学脆
受人脑启发的神经形态计算与人工突触器件具备低功耗、高速以及存算一体的显著优势,但传统的氧化物阻变存储器在高温等极端工况下面临严峻的稳定性挑战。金刚石凭借超宽禁带、卓越的热导率和出色的化学稳定性,被公认
一颗牙齿,可以轻松咬碎坚果,甚至啃动骨头。可另一边,一颗不到几毫米的蛀牙,却能一点一点把它“吃穿”。为什么能扛住几十公斤咬合力的牙齿,却会被一颗蛀牙慢慢啃穿?真正决定这一切的,并不是牙齿够不够硬,而是
很多人在第一次接触扫描电子显微镜时,都会产生一种近乎直觉性的惊讶。一块肉眼看起来已经非常光滑的金属,在显微镜下却像被风蚀后的峡谷;一片镜面玻璃,在高倍率下布满细小沟壑;甚至是一根人类头发,其表面也并不
人们在日常经验中往往默认“看见即真实”,但当观察对象进入微米甚至纳米尺度时,这一直觉开始变得不再可靠。我们之所以“看不到真实结构”,并不是因为结构本身不存在,而是因为任何观测手段都在对物理世界进行某种
等离子体增强化学气相沉积系统CVD的工作原理介绍?
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