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TGV 化学湿法蚀刻设备品牌
圭华智能产地
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TGV 化学湿法蚀刻设备
国产光学仪器及设备
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设备特点
● 蚀刻液无消耗，恒定浓度蚀刻，直径和厚度尺寸与理论值一致
● 温控窗口宽，蚀刻液浓度温度不敏感，一致性好
● 蚀刻后表面粗糙度基本不变
● 满足无氟安全环保、低成本、高效率、高量产需求
工艺流程
◆ 上料
◆ 蚀刻
◆ 浸泡⽔洗
◆ 蚀刻
◆ 浸泡⽔洗
◆ 浸泡酸洗
◆ 浸泡⽔洗
◆ 慢提拉
◆ 烘⼲
◆ 下料
设备参数
项目 | 技术参数 |
| 加工尺寸 | 515*510mm，920*730mm 和12寸晶圆可选 |
| 孔径大小 | ＞1.5um |
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