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PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统品牌
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泽攸科技PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统
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PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统，将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电
镜样品台上，在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。该系统允许研究者
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电镜的功能与应用领域。该产品可实现1 Bar & 800 ℃的观测条件，使研究者可以在扫描电镜中实
时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长/合成以及各类腐蚀反应，将您的扫描电镜从一台
静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室。
性能指标
气体流动指标：
● 三通道混气；
● 气压范围：0 - 1 Bar；
● 气压准确度：30 mBar；
● 气体流速： 0.01 - 0.4 ml/min；
● 可通气体：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；
● 软件控制。
扫描电镜指标：
● 兼容指定类型电镜；
● 保证电镜原有真空度；
● MEMS反应微腔指标：
● 高质量氮化硅膜厚度30 nm；
● 样品漂移优于0.7 nm/min。
热学指标：
● 温度范围：室温至800 ℃；
● 温度准确度：优于5%；
● 温度稳定性：优于±0.1 ℃；
● 四电极加热，带温度反馈；
● 软件控制。
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