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PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统
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PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统

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安徽泽攸

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安徽

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时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长/合成以及各类腐蚀反应,将您的扫描电镜从一台

静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室。


性能指标



气体流动指标:

● 三通道混气;

● 气压范围:0 - 1 Bar;

● 气压准确度:30 mBar;

● 气体流速: 0.01 - 0.4 ml/min;

● 可通气体:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;

● 软件控制。

扫描电镜指标:

● 兼容指定类型电镜;

● 保证电镜原有真空度;

● MEMS反应微腔指标:

● 高质量氮化硅膜厚度30 nm;

● 样品漂移优于0.7 nm/min。

热学指标:

● 温度范围:室温至800 ℃;

● 温度准确度:优于5%; 

● 温度稳定性:优于±0.1 ℃;

● 四电极加热,带温度反馈;

● 软件控制。


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