PicoFemto透射电镜原位高温力学测量系统，同时集成了力学测量模块及MEMS芯片模块，可以在

对样品1000 ℃加热的同时进行定量的力学测量。MEMS芯片模块上可以选择加热芯片，也可以选

择电学测量芯片。力学测量模块可以选择不同载荷的传感器，满足不同实验需求。

该产品实现了透射电镜中的高分辨定量原位高温力学研究。

性能指标

 透射电镜指标：

● 兼容指定电镜型号及极靴；

● 部分型号电镜可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°;（同时受限于极靴间距）；

力学传感器指标：

● **载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN**载荷时）；

● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN**载荷时）；

● 自动测量力-距离曲线，自动保存。

加热指标：

● 温度控制范围：室温至1000 ℃；

● 温度准确度：优于5%；

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。

扫描探针操纵指标：

● 粗调范围：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；

● 细调范围：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；

● 细调分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。

产品特色

（1）很大力学测量及温度控制范围；

（2）多场下的力学研究；

（3）稳定性高：轻松获得大幅度运动中的高分辨像，适用于更广泛的应用场景和样品体系；

（4）很长的寿命：种类：实用新型（具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微

镜原位样品杆）的“爪-球”结构探针杆因其独特的结构设计，是公

认皮实耐用的探针杆；

（5）很低维护成本：设备配套的针尖制备系统可低成本制备针尖耗材。”爪-球“微动结构已实现

模块化量产，维护成本低；

（6）很大的用户群：在国内拥有近200个高质量原位用户，出口到欧美澳等地。每年，用户会产出

大量高质量研究成果。定期组织各类用户交流活动，搭建学术平台供用户交流；

（7）成熟的技术支持网络：在安徽、北京、东莞和上海拥有分公司，其他各地拥有若干技术支持

网点，24小时提供技术支持。