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PicoFemto原位扫描电镜光电力一体化系统,集成了扫描探针控制单元,可在三维空间内对电学
探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵与定位。通过电学探针施加电场,通过光纤施加光场,
对单个纳米结构进行操控并进行电学性质、光电性质的测量。并可在物性测量的同时,动态、高分
辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征,大大地扩展了扫描电镜的功能与应用
领域。
性能指标
电学测量指标:
● 包含一个电流电压测试单元;
● 电流测量±1.5 A,±100 fA;
● 电压输出±200 V,±100 nV;
● 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
扫描探针操作指标:
● 粗调范围:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
● 细调范围:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
● 细调分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。
光纤指标:
● 光纤外径250 um,保证电镜系统真空指标;
● 可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜;
● 可选SMA接头、FC接头。
力学传感器指标:
● 载荷100 mN(可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN);
● 力测量实测噪声优于5nN(0.1 mN**载荷时);
● 力测量实测分辨率优于5 nN(0.1 mN**载荷时);
● 自动测量力-距离曲线,自动保存。
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