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1）真空腔 2）抽气系统 a) OSAKA FR060D b) BROOKS CTI OB400 & 9600 compressor/Leybold DIP8000 c) Flapper Valve d) Inficon vacuum gauge | 3）电子枪 JEOL BS-60050EBS 4）高精度镀膜基板温度控制双加热系统,**温度:350℃ 5）高精度控制工件高速旋转 6）6片石英芯片晶体膜厚控制仪 7）镀膜基板自动翻面功能 8）同点实时监控光学膜厚仪 |
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