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型号：IBSH-1030 特点： 1、基板水平放置，垂直监控； 2、靶材左右移动，位置和速度可编程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：两靶，三靶或四靶可更换； 5、多光路监控。 6、无膜厚分布修正板 |
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