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100mm品牌
百举捷产地
沈阳样本
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100mm
国产半导体行业专用仪器
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产品描述：
本系统为手套箱和真空镀膜机集成在一起的设备，适合哪些对水氧敏感的材料研究，在钙钛矿电池，燃料敏化电池，超导，核工业等领域有广泛应用。
产品优势：
1.手套箱可集成磁控溅射镀膜机；
2.手套箱可集成电子束蒸发镀膜机；
3.手套箱可集成热阻蒸发镀膜机；
4.手套箱可集成ALD镀膜机；
5.结构优化，操作方便；
6.真空度可达到5*10-6Pa；
7.样品台加热水冷可选；
8.其他结构可定制。
技术参数
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