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PLD-300品牌
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沈阳样本
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PLD-300
国产半导体行业专用仪器
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产品概述
脉冲激光沉积(PLD),是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段,现代PLD系统通常配备反射高能电子衍射仪(RHEED)用于实时监控薄膜生长,并采用双腔体设计以提高实验效率。
产品优势:
1、有多种型号可选;
2、突破国际封锁,**可达到4~8英寸样品镀膜;
3、可实现高温生长,**1100℃;
4、可选配激光加热方式;
5、可选配RHEED等部件;
6、可实现高氧压镀膜;
7、样品可自动交接,稳定,可靠;
8、双室结构配置六工位样品库,提高工作效率3~6倍;
9、具有手动和自动两种功能;
10、具有远程控制功能;
11、售后服务好,保证客户高效使用设备;
12、可实现脉冲激光和磁控溅射组合镀膜。
技术参数
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