
参考价格
1-5万元型号
KT-Z0809-RL品牌
郑科探产地
河南郑州样本
暂无半导体行业专用仪器
KT-Z0809-RL
国产半导体行业专用仪器
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一:产品参数
1. 产品名称:真空测试腔
2. 产品型号:KT-Z0809RL/R
3. 产品品牌:郑科探 Zhengketan
4. 生产厂家:郑州科探仪器设备有限公司
二:主要技术要求
真空腔体 | |||
类型 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ | |
1.腔体材质 | 304不锈钢 | ||
2.腔体内尺寸 | Φ68mmX57mmX22mm | ||
3.腔体外尺寸 | Φ112X65mm | ||
4.腔体重量 | 约1.8KG | ||
5.腔体上视窗尺寸 | Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | ||
6.腔体下视窗尺寸 | Φ22mm(用于光学底部透光) | ||
7.腔体抽气口 | KF16法兰 (其余接口规格可转接) | ||
8.腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 | ||
9.腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | ||
10.腔体水冷接口 | 6mm快拧或6mm快插 | ||
11.腔体正压 | ≤0.05MPa | ||
12.腔体真空度 | 机械泵≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟 | ||
样品台 | |||
13.样品台材质 | 不锈钢 | ||
14.样品台尺寸 | 28x28mm | ||
15.样品台加热方式 | 电阻加热 液氮制冷 | ||
16.样品台-视窗 距离 | 10mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | ||
17.样品台测温传感器 | PT100型铂电阻 | ||
18.样品台温度 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ | |
19.样品台测温误差 | ±0.5℃ | ||
20.样品台升温速率 | 高温10℃/min **值 低温20℃/min | ||
温控仪 | |||
21.温度显示 | 7寸人机界面 | ||
22.温控类型 | 标准PID温控 +自整定 30段编程控温 | ||
23.温度分辨率 | 0.1℃ | ||
24.温控精度 | ±0.5℃ | ||
25.温度信号输入类型 | PT100铂电阻(可选热电阻 K S B型热电偶) | ||
26.温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 | |
27.辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | ||
28.温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | ||
29.温控器重量 | 约5.6KG | ||
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