2：镀膜方式

真空直流磁控溅射镀膜

3：镀膜功能

0-999秒可变换功率 及挡板复位和样品旋转 自动进气等程序控制

4：**功率

≤500W（电压≤1000V 电流≤500mA)

5: 极限真空

机械泵 ≤1Pa（5分 钟）   分子泵≤5*10^-3Pa（30分钟）

6：挡板类型

电控

7：镀膜靶材

直径Ф50mm 厚度0.2-2mm

8：镀膜真空

≤5Pa

9：溅射气体

高纯氩气（自动进气/关闭 PID调节设置的真空度）

10：真空腔室

高鹏硅玻璃罩+铝合金腔体样品台Ф160mm×170mm

11：样品台

快速插拔式 可旋转φ75  （**可安装φ70样品）

12：样品台转速

0-8转/分钟

13：样品靶材距离

40-70mm（可调节）

14：真空测量

电阻真空（测量范围10E5Pa  1E-1Pa ）

15：预留真空腔室接口

KF40/KF25抽气口  KF16真空计接口Q15放气口  6mm快插进气口 可扩展膜厚测量口

16：产品重量

约17KG

可选配扩展（选配）

①机械真空泵抽速8mm3/h（单设备≤1Pa(5分钟）

②分子泵机组（单设备可抽真空30分钟≤5*10^-3Pa）

③膜厚仪:(厚度范围0-10000A 厚度显示分辨率1A 速率范围0-999.9A 速率显示分辨率0.1A 晶振频率6MHz）

主要配置要求

小型溅射仪 KT-Z1650PVD 主机1台 电源线 合格证 说明书 保修卡各一个