探测器:
高灵敏度四分割背散射电子探测器,EDS加速电压:
基本模式:2 kV / 5 kV / 10 kV / 15 kV / 20 kV 高级模式:4.8–20.5 kV 连续可调,用于成像与元素分析电子枪:
CeB6晶体灯丝电子光学放大:
350,000×光学放大:
20–135×分辨率:
优于 6nm复纳科技扫描电镜
复纳科技 Phenom ProX G7
国产扫描电镜
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飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX
飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX—— 智能、GX、能谱电镜一体化
放大倍数:350,000×
分辨率:优于 6nm@10kV
电子枪:3,000 小时 CeB6 灯丝
抽真空时间:小于 15 秒
能谱仪EDS元素分析功能
拓展功能:3D粗糙度重建、纤维统计测量,高倍拼图等

Phenom ProX G7飞纳台式扫描电镜能谱一体机
产品性能
飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX 同时具备样品表面微观形貌观测(SEM)和表面元素成分点、线、面分析(EDS)。作为业内成熟的一体化 SEM-EDS 系统,飞纳电镜将电镜和能谱在生产环节深度集成,设备出厂即完成匹配调校,后期通过同一个软件平台即可完成成像与能谱分析,降低学习成本,提高上机效率,技术支持流程也更加高效。
适用于材料科研、锂电池正极负极材料分析、半导体失效分析、粉末冶金、科研院校共享平台以及企业质量控制实验室。
Phenom ProX 曾荣获 2012 年全//球新产品奖,是台式扫描电镜能谱一体化领域的重要里程碑。其亮度10 倍于钨灯丝的 CeB6 灯丝不仅显著提升成像分辨率,也使表面元素分析更加准确稳定。在背散射(BSE)成像中,不同灰度对应不同原子序,搭配 SDD 探头,可实现 5–95 号元素的点、线、面分布分析,满足科研及工业用户的精准需求。
Phenom ProX 延续飞纳系列的智能化设计,具备全自动操作、15 秒快速抽真空、不喷金观察绝缘体、平均 5 年更换灯丝等优势。设备无需防震台,可直接放置在普通实验室、办公室或厂房环境中。EDS 模块采用一体化结构,无需外接部件、无需液氮冷却,真正实现“即开即用”的台式场景友好型 SEM-EDS。
产品参数
光学显微镜: 20–135×
电子显微镜: ** 350,000×
探测器: 高灵敏度四分割背散射电子探测器
灯丝材料: 3,000 小时 CeB6 灯丝
分辨率: 优于 6 nm @10 kV
放置环境: 专业防震设计,可在普通实验室、办公室、厂房环境使用
加速电压:
基本模式:2 kV / 5 kV / 10 kV / 15 kV / 20 kV
高级模式:4.8–20.5 kV 连续可调,用于成像与元素分析
抽真空时间: <15 秒
元素分析范围: B(5)– Am(95)
能谱探测器: SDD 硅漂移探测器
冷却方式: Peltier 无液氮电制冷
选配: 支持全系列样品杯,支持所有软件拓展模块(自动颗粒分析、自动金属夹杂物分析、纤维分析、形貌统计等)
适合科研院校共享平台、材料研究所、地质与矿产分析实验室、企业质检中心和生产线质量管理等多种应用场景。
复纳科学仪器(上海)有限公司负责荷兰飞纳台式扫描电镜在国内市场的推广、销售及全流程技术支持。飞纳建立了从售前测试、用户培训到售后保障的完整体系,在 上海、北京、广州均设有测试中心和服务中心,满足华东、华北、华南不同地区用户需求。
飞纳 ZG 提出了飞纳学校(Phenom University)的培训体系,从 SEM 基础知识到高级 Level 5 应用工程师课程,帮助科研团队、企业工程师快速掌握自动化扫描电镜与能谱分析技能。目前飞纳在国内拥有接近 2000 名用户,覆盖材料科学、电子封装、锂电池、金属冶金、地质矿物、半导体检测等众多领域。
作为国际知名的智能化台式扫描电镜品牌,飞纳电镜正逐步成为 国内市场科研机构与企业实验室的主流选择之一,适用于对成像速度、空间环境要求、自动化程度和设备稳定性有更高需求的用户。
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