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赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜
赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB双束电镜

参考价格

面议

型号

Helios 5 DualBeam FIB

品牌

赛默飞世尔科技

产地

捷克

样本

暂无
北京欧波同光学技术有限公司

金牌会员

|

第6年

|

代理商

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核心参数
  • 探测器:

    见参数
  • 加速电压:

    500 V – 30 kV
  • 电子枪:

    见参数
  • 电子光学放大:

    见参数
  • 光学放大:

    见参数
  • 分辨率:

    0.6 nm@15 keV、1.0 nm@1 keV
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    新一代的赛默飞世尔科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 产品系列业界**的高性能成像和分析性能。它经过精心设计,可满足材料科学研究人员和工程师对*广泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是**挑战性的样品。


    Helios 5 DualBeam 重新定义了高分辨率成像的标准:**的材料对比度,*快、*简单、*精确的高质量样品制备,用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描(APT)以及**质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上,新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化,所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的**运行状态。


半导体行业技术参数:



<


Helios 5 CXHelios 5 HPHelios 5 UXHelios 5 HXHelios 5 FX

样品制备与 XHR 扫描电镜成像*终样品制备 (TEM薄片,APT)STEM 亚纳米成像与样品制备
SEM着陆电压20 eV~30 keV20 eV~30 keV

分辨率

0.6 nm@15 keV0.6 nm@2 keV


1.0 nm@1 keV0.7 nm@1 keV



1.0 nm@500 eV
STEM分辨率@30 keV0.7 nm0.6 nm0.3 nm
FIB制备过程**材料去除束流65 nA100 nA65 nA
*终**抛光电压2 kV500 V
TEM样品制备样品厚度50 nm15 nm7 nm
自动化
样品处理行程

110×110

×65 mm

110×110

×65 mm

150×150

×10 mm

100×100

×20 mm

100×100×20mm+5轴(S)TEM Compustage
快速进样器手动自动手动自动自动+自动插入/提取STEM 样品杆





材料科学行业技术参数:


<



Helios 5 CXHelios 5 UX
离子光学
具有**的大束流性能的Tomahawk HT 离子镜筒具有**的大束流和低电压性能的Phoenix 离子镜筒
离子束电流范围1 pA – 100 nA1 pA – 65 nA
加速电圧500 V – 30 kV500 V – 30 kV
**水平视场宽度在束重合点处为0.9 mm在束重合处点为0.7 mm
离子源寿命1,000 小时1,000 小时

两级差分抽吸两级差分抽吸
飞行时间校准飞行时间校准
15孔光阑15孔光阑
电子光学Elstar超高分辨率场发射镜筒Elstar超高分辨率场发射镜筒
磁浸没物镜磁浸没物镜
高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流
电子束分辨率**工作距离下0.6 nm @ 30 kV STEM0.6 nm @ 30 kV STEM
0.6 nm @ 15 kV0.7 nm @ 1 kV
1.0 nm @ 1 kV1.0 nm @ 500 V (ICD)
0.9 nm @ 1 kV 减速模式*
在束流重合点0.6 nm @ 15 kV0.6 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV 减速模式* 及 DBS*1.2 nm @ 1 kV
电子束参数电子束流范围0.8 pA ~ 176 nA0.8 pA ~ 100 nA
加速电压范围200 V ~ 30 kV350 V ~ 30 kV
着陆电压20 eV ~ 30 keV20 eV ~ 30 keV
**水平视场宽度2.3 mm @ 4 mm WD2.3 mm @ 4 mm WD
探测器Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE)
Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (ICD)*
Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)*
样品室内 Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)
红外相机
高性能离子转换和电子探测器 (SE)*
样品室内 Nav-Cam 导航相机*
可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器 (DBS)*
可伸缩STEM 3+ 探测器*
电子束流测量
样品台和样品样品台高度灵活的五轴电动样品台压电陶瓷驱动 XYR 轴的高精度五轴电动工作台
XY110 mm150 mm
Z65 mm10 mm
R360° (连续)360° (连续)
倾斜-15° ~ +90°-10° ~ +60°
**样品高度与优中心点间隔 85 mm与优中心点间隔 55 mm
**样品质量样品台任意位置 500 g样品台任意位置 500 g
 0° 倾斜时** 5 kg
**样品尺寸直径 110 mm可沿样品台旋转时直径 150 mm可沿样品台旋转时

优中心旋转和倾斜优中心旋转和倾斜

    更易于使用:

    Helios 5 对所有经验水平用户而言都是*容易使用的 DualBeam 系统。操作人员培训可以从几个月缩短到几天,其系统设计可帮助所有操作人员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。


    提高了生产率:

    Helios 5 和 AutoTEM 5 软件的先进自动化功能,增强的可靠性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作,显著提高样品制备通量。


    改善时间和结果:
    Helios 5 DualBeam 引入全新精细图像调节功能 FLASH (闪调)技术。借助 FLASH 技术,您只需在用户界面中进行简单的鼠标操作,系统即可“实时”进行消像散、透镜居中和图像聚焦。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。平均而言,FLASH 技术可以使获得优化图像所需的时间*多缩短 10 倍。


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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

10分
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