IoN 100 是一种筒式等离子体反应器，专为研发和生产应用而设计。该技术基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla 在50 多年的时间里开发的经过验证的反应器设计。IoN 100 使用更大的机箱，提供所有气体和电源连接。

功能包括：

即插即用自安装

柔性电极

带液晶触摸屏和键盘的工业计算机。

基于Windows 的操作系统。

图形用户界面(GUI) 软件符合

CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101

多级用户访问

软件

用于快速和多功能步骤控制的配方编辑器

板载诊断功能和报警记录

通过以太网进行远程过程监控

基于网络的在线模拟/培训/支持

机箱上的泵电源插座

节能功能—泵控制

典型应用：

表面清洁

表面活化

表面功能化

矽氧烷和有机薄膜的沉积