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LDI激光直写光刻机
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项目 | 参数 |
支持基板尺寸 | 12inch（兼容8inch） |
分辨率 | L/S 2/2μm；Hole 4μm |
套刻精度 | 正面±0.6μm、背面优于2μm |
光源类型 | LD |
产能 | 40WPH |
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