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PD-VCD真空闪蒸仪品牌
普迪真空产地
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PD-VCD真空闪蒸仪
国产半导体行业专用仪器
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产品摘要
VCD真空闪蒸仪一款一键式操作的桌面型设备,设备整体放置于手套箱内,腔体内部设有独特气气流导向结构与样品支撑,可实现快速抽真空,有利于有机溶剂快速挥发,辅助成膜结晶,对各种基板涂敷材料进行快速真空干燥、溶剂挥发,具有稳定性高、均匀性好、操作便利等优点。
产品介绍
设备特点:
★真空测量采用数字式全量程真空规管。控制系统采用触摸屏设置参数,一键式操作。
★内部样品托盘采用可拆卸式,配备吸气环方便玻璃基片放置;在放置柔性基片和硅片时可采用吸气板式托盘。
★腔体顶部设置DN100视窗,便于观察样品处理过程。
设备参数:
★样品尺寸:210mm×210mm/300mm×300mm
600mm×600mm/600×1200mm **厚度30mm
★极限真空:0.1Pa
★抽空时间:10秒至5Pa
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