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全自动晶圆环切取环设备
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设备特点
晶圆尺寸: 兼容8寸、12寸frame晶圆
双loadport上料,双臂带翻转robot取料
双全自动取环工位
高效精确解UV光源
环切精度<0.15mm
设备尺寸：2060mm*2050mm*2300mm（不含三色灯）
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