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| 亚表面缺陷检测仪 | |
| 型号 | SSDI-2000 |
| 检测灵敏度 | ≤200nm |
| 横向分辨率 | ≤300nm |
| 纵向分辨率 | ≤1μm |
| **样品尺寸 | 100mm x 100mm,或根据客户需求定制 |
*注：可根据用户需求，提供同类特制系统。
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