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| 碳化硅缺陷检测仪 | |
| 型号 | NOVA-2000 |
| 晶圆 | SiC衬底，外延片 |
| 尺寸 | 4寸，6寸，8寸 |
| 检测效率 | 10WPH(6寸) |
| 上下料方式 | 全自动，2Loadport，1Robot |
| 环境温度 | 20℃~25℃ |
| 环境湿度 | 40%~60% |
| 厂房洁净等级 | 百级及以上无尘车间 |
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